製品概要

純水用蒸気発生器は、
純水を用いて蒸気を発生させ、
精密工程や装置へ供給するための装置です。

不純物の混入を抑え、
工程の安定化を目的として使用されます。

用途

  • 半導体・精密装置の工程用蒸気供給
  • 洗浄・処理工程
  • 装置内部の加湿・処理用途

特徴

  • 純水対応設計
  • 安定した蒸気供給
  • 工程・装置仕様に応じた対応が可能
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